“浸入式？浸入....”周宏几次咀嚼着这个词，越念越觉贴切。猛的一拍大腿道：“好，就叫这个。”
浅笑道：“既然周传授也感觉可行，那当然是要好好研讨一下。
吃完饭，胡英梅帮着老太太去清算碗筷。两人坐回到沙发上喝茶解腻。
至于折射率嘛，现在的光刻机光波是在氛围中传播，然后晖映暴光。
这就要好好揣摩揣摩下了。
他用心做出一脸不肯定的说道：“光芒我感觉能够多做实验，把甚么XYZ射线啊，紫外线，极光都尝尝，总能找到最合适的。
此中R代表可辩白的最小尺寸也就是我们寻求的精度，那么必定就是R越小越好，k是工艺常数代表我们的工艺技术,λ.....λ...。
看他这个状况，李秀成对劲极了，本身不愧是当红的告白配角，演技的确爆棚！
归正，光刻机制程工艺程度的生长是一向遵守你说这个公式的。
李秀成微微一笑，宿世困扰停滞华国芯片业生长的首恶终究出世了。
周宏点头：“保密是必定的，别的我感觉能够给这类体例取个新名字好便利称呼。
现在光刻机只是个开端，将来还会有更多。
但此中的难点也非常多。
周宏一个激灵回了神，也不管老太太猎奇的神采，前顷着身子两眼放光的看着李秀成，有些冲动的说道：“李总，你这个别例的道理是完整能够说得通的！
但一双微眯着的眼睛和紧皱的眉头却显现出他的脑筋里正在停止狠恶的思考。
但我们读书时不是有个知识点，是光进入分歧的介质波长会有所窜改嘛？
嗯！
说到这里，李秀成像是卡了壳，挠着腮帮子说道。
比如水，比如其他的液体！”
“嗯？”周宏回过神来，有些奇特的说道：“现在光芒就G线和I线两种，波长在三百多到四百摆布，确切比较大，并且国际上的公同认知是在193nm收缩到157nm制程时会呈现瓶颈。
这也是最难的东西，我们现在造的都是掉队别人十年的参数产品。
现在研讨的是老旧的干式微影光刻机，但将来是浸入式光刻机的天下，要如何才气让老前辈接管这个观点呢？
如许吧，选一批精英人才签保密和谈，然后开端试着研发一下。”
“嗯。我信赖周传授！”李秀成浅笑着点头，他对老前辈的品德风致是相称信赖的，不过也是时候谈一谈光刻机的生长线路题目了。