“嘉嘉，你说猪头是不是想起来甚么了？”
“嗯，是的，就是不太较着。”
普通来讲，浸入式光刻机有三种技术线路：
跟着港基集电5微米晶圆产线的成熟量产，此时的外洋电子财产界巨擘已经认识到，3微米线宽对港基集电来讲随时都能够获得冲破，一旦港基集电自主冲破了3微米的制程技术，2微米的外洋制程技术很能够没有花大代价引进的需求了。
“嗯，是吖～”
是以此次苏良宇等人此次去西门子构和，遭到了西门子半导体极其热忱的欢迎，和三个月之前的态度的确判若两人，乃至西门子还承诺会在欧洲电子行业内部展开游说，争夺尽早把2微米制程技术撤下巴统的监控名单。
双胞胎异口同声的问道。
“稍等稍等，一会来车你俩就明白了～。”
“啊啊猪头终究靠谱了一次，港基集电那么多人都没想出来从这个方向动手呢。”
隔日，内心有事的梁远也顾不上去安抚失火三人组，把事情向王蒙蒙三人解释的事情交给两个丫头，梁远夙起以后直接去了港基集电，还是是把王欣、刘飞扬、聂晓天三人逮到小集会室开会。
第一种是喷淋法，顾名思义就是把水喷到晶圆上然后再敏捷带走，常见的喷淋法工艺是在镜头的一侧设置一个超紧密喷嘴，跟着镜头加工活动把水喷到镜头下方，然后从镜头的另一侧把水吸走。
宁雷言简意赅。
“我这个只是道理罢了，真正能不能用还不好说呢，明儿我还得找明白人好好问问～”
约莫过了五六分钟，冥思苦想中的梁远眉头一展，伸手呯的拍了一下身前的桌面，因为力量很足的原因把桌面上的酒杯都震得小小的位移了一下。
昨晚刘飞扬和聂晓天应酬完方伟林一行人，两人结伴回家时还笑言港基集电有吉利物属性的大少，193纳米光源壁垒必定得我们追上来才气冲破，哪成想只是回家睡了一觉，第二天梁远就直接爆种了。
技术大佬三人组都被惊吓了，刘飞扬和聂晓天乃至连分歧适社会等候都语气助词都没憋住。
镜头上加水这玩意一旦捅破了后边差未几是一马平地，对于技术大佬三人组随便拿张纸就能算出来这东西的远景。
“通过折射窜改光源输出～”
港基集电主导的共和国的火把打算属于根本科研类，压根就没有保密一说，港基集电的财务审计是通过第三方的管帐师事件所交叉审计，梁远筹算采购多量的国产5微米晶圆出产线，在财务报表上底子没法埋没。
“你们说，如果把晶圆丢在水里光刻是不是有助于增大NA值～。”
除了特别极度前提，物理定律必定是不会变的，晶圆丢水里当然会变相增大镜头的NA值。
这个别例对超紧密加工才气和计算机节制才气要求极高，在镜头下方的事情区稳定的建立起那层超薄水膜不比出产光刻机简朴到哪去，如果紧密加工和紧密节制的才气不可，会导致晶圆边沿的暴光很差，严峻影响晶圆出产线的良品率。
“我来吧～”
“小远你是说用水窜改光源的线宽～”
“需求多少？”
梁远拉起两个丫头的手起家就向楼下走。
刘飞扬在纸上龙飞凤舞的写了大半张的算式，然后昂首用没法置信的语气对梁远说道：“大少，如果从西门子引进的设备投产，把大少这个设法放收支产线，我们直接就撵上国际先进水准了～～”
这事儿本来就是因为光刻机而起的，两个丫头天然会第一时候往这个主题上靠，双胞胎盯着水面上的投影沉默了几秒钟，猛的回味了过来。